15、问答题 扫描电镜的分辨率受哪些因素影响？用不同的信号成像时，其分辨率有何不同？所谓扫描电镜的分辨率是指用何种信号成像时的分辨率？
本题答案：影响因素：电子束束斑大小，检测信号类型，检测部位原子序本题解析：试题答案影响因素：电子束束斑大小，检测信号类型，检测部位原子序数.SE和HE信号的分辨率最高，BE其次，X射线的最低.扫描电镜的分辨率是指用SE和HE信号成像时的分辨率.
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