22、问答题 能谱仪、俄歇谱仪和X光电子能谱仪都可作成分分析，它们各自的特点如何？
本题答案：能谱仪分析的是微区成分，分析范围为11-92的元素，若本题解析：试题答案能谱仪分析的是微区成分，分析范围为11-92的元素，若开��窗能分析5-92的元素，分析精度可达5%；。俄歇谱仪分析的是极表层的成分，分析深度只有1nm.X光电子能谱仪也是分析表层成分，但X光电子能谱仪可以提供元素价态。
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